Electronic Theses and Dissertation
Universitas Syiah Kuala
SKRIPSI
PENGARUH TEMPERATUR SUBSTRAT TERHADAP PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILLKON GERMANIUMRNAMORF TERHIDROGENASI (A:SIGE:H) DENGAN MENGGUNAKAN METODE PECVD
Pengarang
Wanti Meirivana - Personal Name;
Dosen Pembimbing
Nomor Pokok Mahasiswa
0081210353
Fakultas & Prodi
Fakultas MIPA / Fisika (S1) / PDDIKTI : 45201
Subject
Kata Kunci
Penerbit
Banda Aceh : Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam., 2005
Bahasa
No Classification
-
Literature Searching Service
Hard copy atau foto copy dari buku ini dapat diberikan dengan syarat ketentuan berlaku, jika berminat, silahkan hubungi via telegram (Chat Services LSS)
Penelitian ini mengkaji pengaruh temperatur substrat terhadap karakteristik lapisan tipis silikon germanium amorf terhidrogenasi (a- SiGe:H) yang ditumbuhkan dengan metoda Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD). Lapisan tipis a-SiGe:H ditumbuhkan di atas gelas coming 7059 pada temperatur yang divariasikan dari ISOT sampai 2S0•C dengan daya 30 watt, tekanan chamber 500 mTorr serta laju aliran gas SiH4 dan GeH4 masing-masing 70 dan I seem. Tujuan dari penelitian ini untuk meLihat pengaruh temperarur substrat terhadap karakterisasi lapisan tipis a-SiGe:H yang meliputi ketebalan, celah pita optik dan konduktivitas. Dari hasil optimasi temperatur substrat terhadap lapisan tipis a-SiGe:H, diperoleh temperatur optimum yaitu 200T dengan lebar celah pita 1,39 eV, konduktivitas gelap 1.74 x 10-9 S/cm dan konduktivitas terang 1.36 x 10•s S/cm dan ketebalan 3404 A.
Tidak Tersedia Deskripsi
PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERLSTIK LAPISAN TIPIS A-SIGE:H DENGAN METODE PECVD (Nonong Mailufar, 2022)
PENGARUH LAJU ALIRAN GAS SIH4/GEH4 TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPISRN(A-SIGE:H) DENGAN METODE PECVD (Azmi, 2023)
KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS TITANIUM OKSIDA (TIO2)DENGAN VARIASI TEMPERATUR PEMANASAN (ANIL) MENGGUNAKAN METODE SOL-GEL SPIN COATING (Maulizar, 2015)
ANALISA PENGARUH TEMPERATUR ANNEALING TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS ZOO:AL (Raudatul Akmal, 2022)
STUDI PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SENG OKSIDA (ZNO) DENGAN METODE SPIN COATING (Rahmawati, 2022)