Electronic Theses and Dissertation
Universitas Syiah Kuala
SKRIPSI
PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERLSTIK LAPISAN TIPIS A-SIGE:H DENGAN METODE PECVD
Pengarang
Nonong Mailufar - Personal Name;
Dosen Pembimbing
Nomor Pokok Mahasiswa
0081212689
Fakultas & Prodi
Fakultas MIPA / Fisika (S1) / PDDIKTI : 45201
Subject
Kata Kunci
Penerbit
Banda Aceh : Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam., 2005
Bahasa
No Classification
-
Literature Searching Service
Hard copy atau foto copy dari buku ini dapat diberikan dengan syarat ketentuan berlaku, jika berminat, silahkan hubungi via telegram (Chat Services LSS)
Telah dilakukan penelitian pengaruh daya rf (laju deposisi) terhadap karakteristik lapisan tipis silikon germanium amorf terhidrogenasi (a-SiGe.H) yang ditumbuhkan dengan metode Plasma Enhanched Chemical Vapor Deposition (PECVD). Lapisan tipis a-SiGe:II ditumbuhkan diatas gelas coming #7059 pada daya yang divariasikan dari 30 watt samapai 70 watt pada temperatur 200°C, tekanan 500 m torr serta laju aliran gas SiH4 dan GeH4 masing-masing 70 dan I seem. Tujuan dari peneLitian ini untuk melihat pengaruh daya rf terhadap karakterisasi lapisan tipis a-SiGe:H yang meliputi ketebalan, celah pita optik, dan konduktivitas. Dari hasil optimasi daya rf terhadap lapisan tipis a-SiGe:lI, diperoleh daya optimum pada 50 Watt dengan celah pita optikl.48 eV dan nilai fotosensitivitas 5.62 x+05 Lapisan tipis a-SiGe:H dengan lebar celah pita optik 1.48 eV dan fotosensitivitas 5.62 x+05 dengan metode PECVD
dapat diaplikasikan untuk sel surya.
Tidak Tersedia Deskripsi
PENGARUH TEMPERATUR SUBSTRAT TERHADAP PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILLKON GERMANIUMRNAMORF TERHIDROGENASI (A:SIGE:H) DENGAN MENGGUNAKAN METODE PECVD (Wanti Meirivana, 2022)
PENGARUH LAJU ALIRAN GAS SIH4/GEH4 TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPISRN(A-SIGE:H) DENGAN METODE PECVD (Azmi, 2023)
PENGARUH VARIASI KOMPOSISI PREKURSOR TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS BIFEO3 YANG DIDEPOSISI MENGGUNAKAN METODE SOL GEL DIP COATING (Umi Dawati, 2018)
KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS TIO2 YANG DIPREPARASI MENGGUNAKAN METODE SOL-GEL DIP COATING DENGAN VARIASI WAKTU TAHAN ANIL (yenni veronika, 2016)
PENGARUH VARIASI WAKTU PENAHANAN TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPIS ZNO: AI YANG DIDEPOSISI DENGAN TEKNIK SPIN COATING (Asnia, 2022)