Electronic Theses and Dissertation
Universitas Syiah Kuala
SKRIPSI
PENGARUH LAJU ALIRAN GAS SIH4/GEH4 TERHADAP KARAKTERISTIK LAPISAN TIPISRN(A-SIGE:H) DENGAN METODE PECVD
Pengarang
Azmi - Personal Name;
Dosen Pembimbing
Nomor Pokok Mahasiswa
0081212694
Fakultas & Prodi
Fakultas MIPA / Fisika (S1) / PDDIKTI : 45201
Subject
Kata Kunci
Penerbit
Banda Aceh : Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam., 2005
Bahasa
No Classification
-
Literature Searching Service
Hard copy atau foto copy dari buku ini dapat diberikan dengan syarat ketentuan berlaku, jika berminat, silahkan hubungi via telegram (Chat Services LSS)
Telah ditumbuhkan lapisan tipis silikon germanium terhidrogenasi (a-SiGe:H) dengan sistem Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) 13.56 Mhz Sebagai sumber gas digunakan gas silan (SiH4) dan gas germane (GeH4) yang terlarut 10% dalam hidrogen (H2) Laju aliran gas germane (GeH4) divariasikan dari 1-35 sccm, sedangkan laju aliran silan (SiH4) 70 sccm. Daya rf diatur pada 40 watt, tekanan 600 m Torr, dan temperatur substraat 275 C. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa Laju deposisi meningkat dari 3,1 A/s - 3,89A/s dengan meningkatnya laju aliran gas Gell, Lebar celah pita optik menurunt seiring dengan meningkatnya laju aliran gas GeH4 Fotosensitivitas menurun dengan meningkatnya laju aliran gas GeH4, laju aliran gas GeH4 optimum untuk penumbuhan lapisan tipis a-SiGe:H adalah Laju aliran gas GeH4, pada 1,0 sccm yang menghasilkan lebar celah pita optik 1,21 eV, dan
fotosensitivitas 2.92 10 1 A/s
Kata kunci sel surya. PECVD, a-SiGe: H
Tidak Tersedia Deskripsi
PENGARUH DAYA RF TERHADAP KARAKTERLSTIK LAPISAN TIPIS A-SIGE:H DENGAN METODE PECVD (Nonong Mailufar, 2022)
PENGARUH TEMPERATUR SUBSTRAT TERHADAP PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILLKON GERMANIUMRNAMORF TERHIDROGENASI (A:SIGE:H) DENGAN MENGGUNAKAN METODE PECVD (Wanti Meirivana, 2022)
HUBUNGAN LAJU ALIRAN SALIVA DAN PH SALIVA SETELAH BERKUMUR MONOSODIUM GLUTAMAT PADA MAHASISWA KEDOKTERAN GIGI FAKULTAS KEDOKTERAN GIGI UNIVERSITAS SYIAH KUALA (Firman Tirma, 2014)
HUBUNGAN LAJU ALIRAN SALIVA TANPA STIMULASI BERDASARKAN POSISI RUKUK DAN SUJUD PADA MAHASISWA DENGAN INDEKS SKOR STRES AKADEMIK RENDAH (Tari Marliska, 2017)
PERUBAHAN LAJU ALIRAN DAN PH SALIVA SEBELUM DAN SESUDAH MENGONSUMSI SUSU ULTRA HIGH TEMPERATURE LOW FAT (STUDI PADA MAHASISWA FAKULTAS KEDOKTERAN GIGI UNSYIAH ANGKATAN 2017) (ARIE MAULIZA PUTRI, 2020)