Electronic Theses and Dissertation

Karakteristik lapisan tipis seng ok.sida dan aluminium (zno:ai) yang dideposisi dengan teknik spin coating dan di-annealing dengan waktu penahanan yang bervariasi telah diteliti. penelitian ini bertujuan untuk mengetahui pengaruh variasi waktu penahanan terhadap karakteristik lapisan tipis zno:ai. lapisan tipis zno:al dideposisi di atas substrat kaca preparat (2 cm x 2 cm) menggunakan serbuk zinc asetat (znac) sebagai prekursor yang dilarutkan dalam etanol absolut dan dietilene glikol (deg). lapisan tipis zno:al yang terdeposisi di-annealing pada temperatur 500c dengan waktu penahanan yang bervariasi yaitu i0 menit, 20 menit, 30 menit, 40 menit, dan 50 menit. untuk mengetahui karakteristik lapisan tipis zno:al dilakukan karakterisasi menggunakan atomic force microscope (afm), x-ray difraction (xrd), dan spektrometer uv-vis. hasil analisis afm menunjukkan bahwa morfologi permukaan lapisan tipis zno:ai mengalami perbaikan dengan meningkatnya waktu penahanan. analisis terhadap hasi xrd memperlihatkan bahwa semua sampel lapisan tipis zno:ai mempunyai puncak. difraksi tertinggi pada bidang kristal (hkl) 002 dengan sudut difraksi 20 = 34. analisis spektrum uv-vis memperlihatkan bahwa daerah respon optik pada semua lapisan lipis zno:ai terjadi pada rentang panjang gelombang yang berbeda-beda sehingga nilai transmitansi yang dihasilkan juga berbeda. kata kunci : lapisan tipis zno:ai, spin coating, dan waktu penahanan.