Electronic Theses and Dissertation

Karakteristik lapisan tipis seng oksida dan aluminium (zno:al) yang ditumbuhkan dengan metode spin coating telah diteliti. larutan zno:al dibuat dengan melarutkan serbuk zno dan al203 dalam pelarut etanol dan hc)' lapisan zno:al ditumbuhkan dengan cara meneteskan iarutan zno:al diatas substrat berupa kaca benda mikroskop (1,5 x 2)cm yang ditempatkan diatas spinner dan diputar selama 5 menit, kecepatan putaran spinner 3300rpm. lapisan yang terbentuk selanjutnya dipanaskan pada temperatur yang bervariasi dari 300-700°c. lapisan tipis zno:al dikarakterisasi menggunakan spekiroskopi ultraviolet visible (uv-vis), dan atomic force microscope (afm). hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan zno:al yang ditumbuhkan memiliki nilai transmitansi optik yang paling tinggi sebesar 87% pada temperatur 500°c. celah pita optik yang paling tinggi sebesar 3,68 (ev) pada temperatur 700°c. analisa morfologi permukaan lapisan tipis zno:al menunjukkan bahwa lapisan yang dipanaskan pada temperatur 700°c memiliki tekstur dan tingkat kerataan permukaan yang paling baik, dengan nilai kekasaran permukaan rata-rata 0,1 um, kata kunci : lapisan tipis zno:al, spin coating, transmitansi optik, morfologi permukaan, celah pita optik.