Electronic Theses and Dissertation

Karakteristik lapisan tipis seng oksida doping aluminium (zn0:al) yang d.itumbuhkan dengan metode spin coating telah d.iteliti. larutan zno:al dibuat dengan melarutkan serbuk zno dan serbuk al,o, dalam pelarut etanol dan hci. lapisan zno:aj ditumbuhkan dengan cara meneteskan larutan zno:aj diatas substrat berupa kaca preparat (1,5 x 2)cm yang ditempatkan diatas spiner dan diputar selama 5 menit. konsentrasi al divariasilcan dari 0% - 2%, kecepatan putaran spiner 3300 rpm. lapisan yang terbentuk selanjutnya dianealing pada temperatur 700 °c. lapisan tipis zno:al yang terbentuk dikarakterisasi menggunakan spektroskopi ultraviolet visible (uv-vis), dan atomic force microscope (afm). hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan zno:al yang ditumbuhkan memiliki nilai transmitansi optik yang cukup tinggi pada konsentrasi al,o, 0,5%, sebesar 80% pada panjang gelombang 388 nm. celah pita optik yang tertinggi diperoleh sebesar 3,69 ev pada konsentrasi al,0, 2%. analisa morfologi dan tekstur permukaan lapisan zno:al menunjukkan bahwa lapisan yang berkonsentrasi al,0, 0,5% memiliki tekstur dan tingkat kerataan permukaan yang paling baik, dengan nilai kekasaran permukaan rata• rata 0,i um. kata kunci : lapisan tipis zno:al, spin coating, transmitansi optik, morfologi permukaan, celah pita optik. larutan zno:al dibuat dengan melarutkan serbuk zno dan serbuk al,o, dalam pelarut etanol dan hci. lapisan zno:aj ditumbuhkan dengan cara meneteskan larutan zno:aj diatas substrat berupa kaca preparat (1,5 x 2)cm yang ditempatkan diatas spiner dan diputar selama 5 menit. konsentrasi al divariasilcan dari 0% - 2%, kecepatan putaran spiner 3300 rpm. lapisan yang terbentuk selanjutnya dianealing pada temperatur 700 °c. lapisan tipis zno:al yang terbentuk dikarakterisasi menggunakan spektroskopi ultraviolet visible (uv-vis), dan atomic force microscope (afm). hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan zno:al yang ditumbuhkan memiliki nilai transmitansi optik yang cukup tinggi pada konsentrasi al,o, 0,5%, sebesar 80% pada panjang gelombang 388 nm. celah pita optik yang tertinggi diperoleh sebesar 3,69 ev pada konsentrasi al,0, 2%. analisa morfologi dan tekstur permukaan lapisan zno:al menunjukkan bahwa lapisan yang berkonsentrasi al,0, 0,5% memiliki tekstur dan tingkat kerataan permukaan yang paling baik, dengan nilai kekasaran permukaan rata• rata 0,i um. kata kunci : lapisan tipis zno:al, spin coating, transmitansi optik, morfologi permukaan, celah pita optik.