Electronic Theses and Dissertation

Karakterisasi lapisan tipis seng oksida (zno) tclah berhasil ditumbuhkan dengan metode spin coating. larutan zno dibuat dengan melarutkan zink asetat (znac) dalam pelarut etanol absolute dan dietilene glikol. lapisan tipis zno ditumbuhkan dengan cara meneteskan larutan zno di atas subtrat berupa kaca preparat (2 x 2 cm) yang ditempatkan di atas spiner dan diputar hingga mencapai 4 v. lapisan yang terbentuk selanjutnya dilakukan pemanasan yaitu dengan temperatur pre-annealing bervariasi yaitu dari 150c, 200c dan 250c dan temperatur post-annealing 600c. lapisan tipis zno yang terbentuk dikarakterisasi menggunakan x-ray difraktion (xrd), dan atomic force mikcroscope (afm). hasil penelitian menunjukan bahwa lapisan zno yang ditumbuhkan dan dianalisa morfologi tekstur permukaan lapisan tipis zno menunjukan bahwa lapisan yang temperatur pre-annealing tinggi memiliki tekstur dan tingkat kerataan permukaan yang lebih baik, dengan nilai kekasaran permukaan rata-rata 38nm yaitu pada temperatur pre-annealing 250c. analisa terhadap hasil xrd memperlihatkan bahwa semua sampel lapisan tipis zno mcmpunyai 3 puncak difraksi tertinggi pada bidang kristal hkl (100) dengan sudut difraksi 20= 31,7° pada bidang hkl (002) dengan sudut difraksi 20= 34,4° dan bidang kristal (101 ) dengan sudut difraksi 20= 36,2° dengan parameter kisi a = 3.253 b = 3.253 c= s.209 (c/a= 1.602). dari perhitungan butir menunjukan semakin tinggi temperatur pre-annealing yang diberikan ukuran butir yang diperoleh semakin kecil dan nilai fwhm yang diperoleh semakin besar. kata kunci : lapisan tipis zn0, spin coating, morfologi permukaan