Electronic Theses and Dissertation

Karakteristik lapisan upis seng oksida doping aluminium (zno:ai) yang ditumbuhkan dengan metode spin coaling telah diteliti. larutan zno:ai dibuat dengan melarutkan zinc asetai (znac) dan alcl3 dalam pelarut etanol absolute dan dietilene glikol. lapisan tipis zno:al ditumbuhkan dengan cara meneteskan larutan zno:a1 diatas substrat berupa kaca preparat (2 x 2) cm yang ditempatkan diatas spinner dan diputar selama i menit konsentrasi ai divariasikan dari 0% sampai 20 %. kecepatan putaran spinner 3300 rpm. lapisan yang terbentuk selanjutnya dianealing pada temperatur 6000c. lapisan tipis zno:ai yang terbentuk dikarakterisasi menggunakan spektroscopi ultraviolet visible (uv-vis), dan atomic force microscope (afm). hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan lno:aj yang ditumbuhkan memiliki nilai transmitansi optik yang cukup tinggi pada konsentrasi alcl3 15%, sebesar 56% pada panjang gelombang 370 nm. celah pita optik tertinggi diperoleh sebesar 3,67 ev pada konsentrasi 15%. analisa morfologi dan tekstur permukaan lapisan tipis zno:ai menunjukkan bahwa lapisan yang berkonsentrasi alcl3 20% memiliki tekstur dan tingkat kerataan permukaan yang paling baik, dengan nilai kekasaran permukaan rata-rata 3,2 um. kata kunci : lapisan tipis znoai, spin cooling, transmitansi optik, morfologi permukaan,celah pita optik.